最大行程4m x 4m
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台
良好接地设计防止杂讯干扰
Z向震动可达奈米等級以下
最大速度可达5m/s
标准重現精度1um或以下50nm
位置回馈系统解析度最低可达
半导体设备 自动化搬送 FPD设备 太阳能制造设备 PCB设备 水刀设备 钻石切割设备 AOI检测设备 工具机
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